特許

J-GLOBAL ID：201103036164355231

基板搬送用治具

発明者： 小園 武明
出願人/特許権者： 株式会社三井ハイテック
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-260135
公開番号（公開出願番号）：特開2002-076028
特許番号：特許第3789741号
出願日： 2000年08月30日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】フレーム部と、フレーム部に形成された矩形の開口部と、開口部の隣接する2辺にそれぞれ形成された基板支持バーとからなり、前記基板支持バーは、フレーム部と連結される連結部と、連結部に連設されるとともに、開口部の連結部が形成された辺に沿って伸長するアーム部と、アーム部に連設され、基板の1辺と当接する基板当接部とを有することを特徴とする基板搬送用治具。

IPC (4件)：

H01L 21/50 ( 200 6.01) ,  H01L 23/00 ( 200 6.01) ,  H01L 23/12 ( 200 6.01) ,  H05K 13/02 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01L 21/50 C ,  H01L 23/00 Z ,  H01L 23/12 L ,  H05K 13/02 V