特許
J-GLOBAL ID：201103036511048395
測長装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 精孝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-204403
公開番号（公開出願番号）：特開平3-068802
特許番号：特許第2783854号
出願日： 1989年08月07日
公開日（公表日）： 1991年03月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】単結晶材料からなる比較試料と、探針と比較試料との間に流れるトンネル電流に基づき比較試料に対する探針の垂直方向の間隔を一定に保持する垂直方向駆動手段と、探針を測長方向に相対移動させたときの該探針の垂直方向の位置信号に基づき比較試料の原子像の起伏に対応した起伏信号を生成し、該起伏信号を所定のディジタル信号に変換する信号変換手段とを具備し、該ディジタル信号に基づき比較試料の原子間距離を単位として測定対象の測長を行う測長装置において、測長時に前記探針を測長方向と直交する方向に所定幅で往復動させる水平方向駆動手段と、測長時における探針の垂直方向の位置信号及び水平方向の位置信号に基づき比較試料の原子像の山または谷のピークが現れる水平位置を検出し、該検出信号に基づき前記往復動の中心位置を原子列と一致するように修正するための補正信号を生成して水平方向駆動手段に送出する補正信号生成手段とを備えた、ことを特徴とする測長装置。
IPC (4件)：
G01B 7/00
, G01B 7/34
, G01D 5/16
, G01N 37/00
G01B 7/00 L
, G01B 7/34 Z
, G01N 37/00 B
, G01D 5/16 Z
