特許

J-GLOBAL ID：201103036652818046

プラズマ処理装置におけるワーク押さえの取り付け治具およびプラズマ処理装置

発明者： 岩井 哲博 ,  永留 隆二
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  内藤 浩樹 ,  永野 大介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-289557
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110875
特許番号：特許第3846128号
出願日： 1999年10月12日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ベース部に対して密着して密閉空間である処理室を形成する蓋部材と、前記処理室内に配置されて上面に処理対象のワークが載置される電極と、前記蓋部材の内側に着脱自在に取り付けられ蓋部材が前記基部に密着した状態で前記電極上のワークに当接して前記電極へ押さえつけるワーク押さえを備えたプラズマ処理装置において、前記ワーク押さえを前記蓋部材の内側に装着する際に用いられるプラズマ処理装置におけるワーク押さえの取り付け治具であって、透明な板状部材とこの板状部材に形成され前記ワーク押さえを蓋部材の内側へ取り付ける際の取り付け位置の目印となる目印手段とを有することを特徴とするプラズマ処理装置におけるワーク押さえの取り付け治具。

IPC (3件)：

H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  H01L 21/68 ( 200 6.01) ,  H05H 1/46 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/68 G ,  H05H 1/46 Z