特許
J-GLOBAL ID：201103036773962578
ラッチングドアを備えたウェハーコンテナ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岡田 英彦
, 福田 鉄男
, 中村 敦子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-509652
特許番号：特許第4549595号
出願日： 2000年07月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 a) ウェハーを囲むためのシール可能なコンテナ部を有し、該コンテナ部は開放した内部と、ドア開口部を形成する矩形のドアフレームとを有し、該ドアフレームはラッチ受容部を有しており、
b) 前記ドア開口部を覆い、かつコンテナ部に対しシールされてウェハーを容器内にシールするため、前記ドアフレーム内に設置可能なドアを有し、該ドアは前部を有しまた、
前記矩形のドアフレームに係合するように寸法決めされた外側着座部を有しており、
さらに、ラッチング機構を有し、該ラッチング機構は、
前記ドアの前記前部で外部に露出したハンドルを有し、該ハンドルは側方に可動であり、
前記ラッチ受容部内へ延出しまた後退するためのラッチ部を有し、そして、
前記ラッチ部と前記ハンドルとの間を連結して前記ハンドルの側方への動きを前記ラッチ部の延出及び後退動に変換するための運動変換部を有する、
ウェハーコンテナ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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