特許

J-GLOBAL ID：201103037312336680

パルスガスレーザ発生装置

発明者： 中牟田 浩典
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (2件)： 大胡 典夫 ,  竹花 喜久男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-552808
特許番号：特許第3808511号
出願日： 1999年05月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第1の主電極、主放電路を形成するための絶縁体製筒状放電管、および第2の主電極の順に縦列配置され且つ内部に媒体ガスが収容され、前記第1主電極および第2主電極の外方に光共振器を構成する一対のミラーが配置され、上記第1主電極および第2主電極の間に主放電用電圧を印加する電源装置を備えるパルスガスレーザ発生装置において、 上記第1主電極または第2主電極の少なくとも一方の主電極とこの一方の主電極の外方に位置するミラーとの間に、筒状誘電体と該筒状誘電体に隣接して配置された補助電極とを有し、且つ前記補助電極に電圧を印加する補助電極電圧印加手段を有することを特徴とするパルスガスレーザ発生装置。

IPC (2件)：

H01S 3/038 ( 200 6.01) ,  H01S 3/0977 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01S 3/03 B ,  H01S 3/097 E