特許

J-GLOBAL ID：201103037926712394

コンフォーカル顕微鏡

発明者： 竹内 淳
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 稲本 義雄 ,  西川 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-170778
公開番号（公開出願番号）：特開2011-027804
出願日： 2009年07月22日
公開日（公表日）： 2011年02月10日
要約：

【課題】コンフォーカル顕微鏡の像質を向上させる。【解決手段】コンフォーカル顕微鏡1の光偏向素子25は、複数の微小ミラーが設けられている偏向面25Aが試料Sの所定の観察面と共役な位置に配置され、対物レンズ29により集光されて偏向面25Aに入射する試料Sからの観察光の偏光方向を微小ミラー毎に制御する。制御部41は、光偏向素子25の微小ミラーを順次選択し、選択した微小ミラーに入射する観察光を結像レンズ24の方向に偏向するように制御する。結像レンズ24の方向に偏向された観察光は、結像レンズ24により検出器31の受光面31Aにおいて結像される。光偏向素子25の偏向面25A、結像レンズ24の主平面24A、および、検出器31の受光面31Aをそれぞれ延長した面は、点A1を通る1本の直線で交わる。本発明は、例えば、コンフォーカル顕微鏡に適用できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源からの照明光を試料の所定の観察面上に集光して、集光位置を走査する照明光学系と、前記試料からの観察光を対物レンズにより集光し、結像して検出する結像光学系とを備えるコンフォーカル顕微鏡において、 所定の偏向面に入射する入射光の偏向方向を所定の領域毎に制御可能な光偏向手段であって、前記偏向面が前記観察面と共役な位置に配置され、前記対物レンズにより集光されて前記偏向面に入射する前記観察光の偏光方向を前記領域毎に制御する光偏向手段と、 前記光偏向手段の前記領域を順次選択し、選択した前記領域に入射する前記観察光を所定の第1の方向に偏向するように制御する偏向制御手段と、 前記光偏向手段により前記第1の方向に偏向された前記観察光を検出する光検出手段と、 前記光偏向手段により前記第1の方向に偏向された前記観察光を前記光検出手段の受光面において結像させる結像レンズと を備え、 前記光偏向手段の前記偏向面、前記結像レンズの主平面、および、前記光検出手段の前記受光面をそれぞれ延長した面が一本の直線で交わるように、前記光偏向手段、前記結像レンズ、および、前記光検出手段が配置されている コンフォーカル顕微鏡。

IPC (2件)：

G02B 21/00 ,  G02B 26/08

FI (2件)：

G02B21/00 ,  G02B26/08 E

Fターム (32件)：

2H052AA08 ,  2H052AB05 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC18 ,  2H052AC27 ,  2H052AC33 ,  2H052AD02 ,  2H052AD33 ,  2H052AF06 ,  2H141MA04 ,  2H141MA18 ,  2H141MB24 ,  2H141MB29 ,  2H141MB63 ,  2H141MC06 ,  2H141MD12 ,  2H141MD20 ,  2H141MD23 ,  2H141MD24 ,  2H141MD32 ,  2H141MD40 ,  2H141ME01 ,  2H141ME22 ,  2H141MF12 ,  2H141MF16 ,  2H141MF21 ,  2H141MF28 ,  2H141MF30 ,  2H141MG10 ,  2H141MZ14 ,  2H141MZ16