特許
J-GLOBAL ID:201103038000222578

積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-050262
公開番号(公開出願番号):特開2000-252536
特許番号:特許第3850163号
出願日: 1999年02月26日
公開日(公表日): 2000年09月14日
請求項(抜粋):
【請求項1】複数個のセラミック圧電板と複数個の金属薄板とを交互に積層して形成された積層型圧電アクチュエータにおいて、前記金属薄板の表面に実質的にガラスを含まないAg金属層を被覆形成するとともに、前記Ag金属層を前記セラミック圧電板表面の結晶粒子間に圧入させることにより前記セラミック圧電板と前記金属薄板とを前記Ag金属層を介して接合一体化してなることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
IPC (4件):
H01L 41/083 ( 200 6.01) ,  F02M 51/00 ( 200 6.01) ,  H01L 41/22 ( 200 6.01) ,  H02N 2/00 ( 200 6.01)
FI (4件):
H01L 41/08 Q ,  F02M 51/00 E ,  H01L 41/22 Z ,  H02N 2/00 B

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