現像装置及び現像方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤朝道
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-233565
公開番号（公開出願番号）：特開2001-056571
特許番号：特許第3322249号
出願日： 1999年08月20日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】外周が円形の薬液槽と、該薬液槽の略中央に基板を保持するための保持手段と、該保持手段の外側に、同一回転方向に薬液を均一に噴出する複数のノズルを備えた複数のノズルユニットと、を少なくとも備えた現像装置であって、前記ノズルユニットに設けられたノズルから噴出される薬液によって生じる回転流によって、前記保持手段によって保持された前記基板表面に薬液が均一に供給されることを特徴とする現像装置。

IPC (2件)：

G03F 7/30 501 , H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/30 501 , H01L 21/30 569 C

前のページに戻る