ステージ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鈴江武彦 , 村松貞男 , 風間鉄也 , 水野浩司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-268758
公開番号（公開出願番号）：特開2001-090773
特許番号：特許第4144980号
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】除振台上にステージを載置したステージ装置において、前記ステージを加減速駆動する駆動手段と、前記ステージの目標移動量を規定せずに加減速の開始信号を入力情報として入力する入力手段と、前記入力手段へ入力された加速開始の情報に基づいて前記駆動手段に加速信号を出力するとともに、前記入力手段へ減速開始の情報が入力された後でかつ前記加速信号を出力してからn×T秒(ただし、nは自然数、Tは除振台の固有揺動振動周期[秒])後に、前記加速信号と同波形で方向が逆になる減速信号を出力する制御手段とを具備したことを特徴とするステージ装置。

IPC (2件)：