特許
J-GLOBAL ID：201103038226477382
平面ラップ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-191163
公開番号（公開出願番号）：特開2001-018160
特許番号：特許第4210003号
出願日： 1999年07月06日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】A)金属鋳造製ポリシャ(4)を有する水平方向に回転可能なテ-ブル(3)、B)該テ-ブルのポリシャ(4)上に設けられたポリシャ面のコンディショニングを行なう環状コンディショナ-(10)、C)該コンディショナ-(10)の外周の約2/3を囲む一対の爪(11a,11a)と、該爪の先端部に設けられた従属駆動ロ-ラ(11b,11b)およびこれら爪の固定枠(11c)よりなる位置決め機構(11)、D)前記固定枠(11c)内に設けられた回転ロ-ラ-(12a)を駆動するモ-タ-(12b)および前記従属駆動ロ-ラ(11b,11b)よりなる前記コンディショナ-の回転駆動機構(12)、E)前記コンディショナ-(10)ならびにコンディショナ-の位置決め機構(11)およびコンディショナ-の回転駆動機構(12)の配列に対して対称の位置に設けられた一対のワ-クの加工ステ-ション位置決め機構(13,13)、F)中央に凹部(141)を、その凹部の両端に対称に設けた1組の凹部(142,142)ならびに2組の凹部(143,143)を有し、かつ底部(144)を有するワ-ク治具(14a)、錘(14b)、一対の連結ボルト(14c,14c)用孔を有する錘受板(14d)、前記一対の連結ボルト(14c,14c)を上下方向にスライド可能に保持するボ-ルブッシュ(14e,14e)、該ボ-ルブッシュの下部に設けられた前記一対の連結ボルト(14c,14c)用の孔を有する連結板(14f)、該連結板の中央部に設けられた窪みより垂下された高さ調整ボルト(14g)、前記ワ-ク治具(14a)の中央凹部(141)に収容されたボ-ル(14h)、支軸(13c)へのガイド止めピン(14i)、該ガイド止めピンより起立させた位置合ヘッド(14j)よりなる前記治具(14a)に取り付けられたワ-ク(w)に荷重をかけ、かつ、ポリシャ面上でワ-クを保持する一対の加工ステ-ション(14,14)、G)前記ワ-クの加工ステ-ション位置決め機構(13)をポリシャ(4)上で往復移動させる駆動機構(15)、および、H)前記環状コンディショナ-(10)の環内ポリシャ(4)上に研磨剤を供給する機構(16)と前記ワ-クの加工ステ-ション位置決め機構(13)の支軸(13a)を経てワ-ク治具(14a)に設けたスリットからポリシャ(4)上に研磨剤を供給する機構(16’)とを具備する平面ラップ装置(1)。
IPC (2件)：
B24B 37/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
B24B 37/00 A
, H01L 21/304 621 D
, H01L 21/304 622 M
