光学素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：日比谷征彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-082500
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275417
特許番号：特許第3335134号
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第1の基板上の回折面を第2の基板で被うことによりシールドした光学素子であって、前記回折面に中心から周辺に連なる溝を設け、該溝を介して前記回折面内の気体を排気又は置換したことを特徴とする光学素子。

IPC (3件)：

G02B 5/18 , G02B 3/08 , H01L 21/027

FI (3件)：

G02B 5/18 , G02B 3/08 , H01L 21/30 515 D

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開昭59-128575

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