特許
J-GLOBAL ID:201103038766564284

電子顕微鏡像記録読取方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柳田 征史 (外1名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平1-195195
公開番号(公開出願番号):特開平3-059938
特許番号:特許第2631017号
出願日: 1989年07月27日
公開日(公表日): 1991年03月14日
請求項(抜粋):
【請求項1】電子顕微鏡において試料を透過した電子線を蓄積性蛍光体シートに照射することにより、この試料の電子顕微鏡像を該シートに記録し、この電子顕微鏡像記録がなされた蓄積性蛍光体シートに励起光を照射し、この励起光照射を受けたシートの部分から発せられた輝尽発光光を光電的に読み取って前記電子顕微鏡像を担う画像信号を得るとともに、この読取処理後の蓄積性蛍光体シートに光を照射してい、該シートに残存する電子線エネルギーを放出させる消去処理を行ない、この消去処理後の蓄積性蛍光体シートを前記電子顕微鏡像の記録に再使用する電子顕微鏡像記録読取方法において、前記電子顕微鏡像の記録を行なう記録部に送られる蓄積性蛍光体シートに残存する電子線エネルギーレベルを検出し、この検出された電子線エネルギーレベルが、シート再使用可能な範囲内の最大値を超えている場合は、その検出がなされた蓄積性蛍光体シートを前記記録部において、記録に使用しないで素通りさせ、この素通りさせた蓄積性蛍光体シートをそのまま前記画像信号を得る読取部、および前記消去処理を行なう消去部に送ることを特徴とする電子顕微鏡像記録読取方法。
IPC (1件):
H01J 37/22 501
FI (2件):
H01J 37/22 501 D ,  H01J 37/22 501 Z
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭60-212952
  • 特開昭63-168949
  • 特開昭61-240549

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