特許

J-GLOBAL ID：201103039062335340

金属用研磨液及び研磨方法

発明者： 内田 剛 ,  松沢 純 ,  星野 鉄哉 ,  上方 康雄 ,  寺崎 裕樹 ,  本間 喜夫 ,  近藤 誠一
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 三品 岩男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-568110
特許番号：特許第3337464号
出願日： 1999年08月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】酸化剤、酸化金属溶解剤、第1の保護膜形成剤、第1の保護膜形成剤とは異なる第2の保護膜形成剤及び水を含有する金属用研磨液。

IPC (3件)：

H01L 21/304 622 ,  C23F 1/16 ,  H01L 21/308

FI (3件)：

H01L 21/304 622 A ,  C23F 1/16 ,  H01L 21/308 F