フォトマスク基板等の搬送具

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中山清
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-348364
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168182
特許番号：特許第3248894号
出願日： 1999年12月08日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】平行に並列させた2本の固定枠(10)を人の肩幅相当の長さを有する2本の連結杆(50)によって連結し、前記各固定枠(10)は、中空体の主固定枠(11)を有し該主固定枠(11)の一端から内部に挿入した副固定枠(12)を摺動自在に突出すると共に、他端に連結ピン(30)により回動自在に可動枠(20)を連結し、前記固定枠(10)及び前記可動枠(20)の各先端部に下向きに延びる保持板(14,24)を設け、該保持板(14,24)の各対向面に縦・横方向に滑り止め効果がある軟質チューブを備えた基板支持部材(40)を設け、上記固定枠(10)と可動枠(20)の枢着部である連結ピン(30)の近傍となる可動枠(20)に上記固定枠(10)に向って延びる二又状のハンドル(21)を固定し、上記連結ピン(30)に設けたコイルばね(31)を上記固定枠(10)と該ハンドル(21)の上方部分を構成する取外しレバー(22)との間に装着して該固定枠(10)及び可動枠(20)の各基板支持部材(40)を互いに近づく方向に付勢させたことを特徴とするフォトマスク基板等の搬送具。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B65G 49/06 , B66C 1/48 , G03F 1/14 , H01L 21/027

FI (5件)：

H01L 21/68 S , B65G 49/06 A , B66C 1/48 , G03F 1/14 M , H01L 21/30 502 J

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平3-177215
特開昭50-067583
特開昭64-071145

審査官引用 (3件)

特開平3-177215
特開昭50-067583
特開昭64-071145

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