特許

J-GLOBAL ID：201103039156448793

赤外域レーザ加工装置およびその保護ウィンドウ

発明者： 岩本 博実
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-150039
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343267
特許番号：特許第3219077号
出願日： 1999年05月28日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 赤外領域のレーザ光による微細加工に際して、該レーザ光を被加工材の加工部に集光する集光光学部品の被加工材側の表面を、該被加工材から飛散する飛散物から保護する保護ウィンドウであって、赤外領域の波長のレーザ光を透過するポリエチレンフィルムと、前記ポリエチレンフィルムに前記レーザ光を透過させるための中央孔を取り囲むように形成された当該ポリエチレンフィルムを平坦に支持するフィルム支持体と、前記フィルム支持体を前記集光光学部品の被加工材側の端部に取り付ける取付け部と、を備える赤外域レーザ加工装置の保護ウィンドウ。

IPC (2件)：

B23K 26/16 ,  B23K 26/00

FI (2件)：

B23K 26/16 ,  B23K 26/00 Q

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭55-112194
  
• 特開昭61-039001
  
• レーザ加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-249603   出願人：新日本製鐵株式会社