特許

J-GLOBAL ID：201103039265021309

測長装置および測長補正装置

発明者： 大村 陽一 ,  佐久間 浩和 ,  岡室 貴士 ,  中島 利郎 ,  仲嶋 一
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-168844
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356509
特許番号：特許第3795257号
出願日： 1999年06月15日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 コヒーレントな平行ビームを発する光源と、 前記平行ビームの光軸上に位置して前記平行ビームに沿う一方向からの光を入射して複数の回折光をそれぞれ異なる方向に出射すると共に前記平行ビームの入射方向に沿って移動する位置測定対象に固定した回折格子と、 前記回折格子の前記回折光を回折次数ごとに反射して前記回折格子に戻すと共に前記位置測定対象以外の部分に固定した反射手段と、 を備え、 前記回折格子による干渉光から測長を行うことを特徴とする測長装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ( 200 6.01) ,  G01B 11/02 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01B 11/00 G ,  G01B 11/02 G

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特許第2603305号