特許

J-GLOBAL ID：201103039318772689

露光装置

発明者： 林 文彦 ,  花房 武
出願人/特許権者： ダイセル化学工業株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-099373
公開番号（公開出願番号）：特開平2-275957
特許番号：特許第2825267号
出願日： 1989年04月18日
公開日（公表日）： 1990年11月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数の透明な基板を対向させ、これらの基板間が密着しないようにして外周を貼り合わせてなる透光性多重基板を露光枠に取り付けたことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 ,  H05K 3/00

FI (2件)：

G03F 7/20 ,  H05K 3/00 H