特許

J-GLOBAL ID：201103039482025380

チタン酸ストロンチウム前駆体溶液の製造方法、並びに、チタン酸ストロンチウム薄膜、チタン酸ストロンチウム薄膜の製造方法、及び熱電変換素子の製造方法

発明者： 石井 雅俊
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 廣田 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-185452
公開番号（公開出願番号）：特開2011-037661
出願日： 2009年08月10日
公開日（公表日）： 2011年02月24日
要約：

【課題】微細な結晶粒子構造のチタン酸ストロンチウム薄膜を形成可能なチタン酸ストロンチウム前駆体溶液の製造方法、並びに、該方法により製造されたチタン酸ストロンチウム前駆体溶液を用いて形成されたチタン酸ストロンチウム薄膜、該チタン酸ストロンチウム薄膜を製造するチタン酸ストロンチウム薄膜の製造方法、及び該チタン酸ストロンチウム薄膜の製造方法を用いた熱電変換素子の製造方法の提供。【解決手段】開示のチタン酸ストロンチウム前駆体溶液の製造方法は、ストロンチウムイソプロポキシドと、チタン(IV)イソプロポキシドと、2-メトキシエタノールとを用いて、不活性雰囲気下かつ水不存在下で、チタン酸ストロンチウム前駆体溶液を製造する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

ストロンチウムイソプロポキシドと、チタン(IV)イソプロポキシドと、2-メトキシエタノールとを用いて、不活性雰囲気下かつ水不存在下で、チタン酸ストロンチウム前駆体溶液を製造することを特徴とするチタン酸ストロンチウム前駆体溶液の製造方法。

IPC (3件)：

C01G 23/00 ,  H01L 35/34 ,  H01L 35/22

FI (3件)：

C01G23/00 C ,  H01L35/34 ,  H01L35/22

Fターム (4件)：

4G047CA07 ,  4G047CB06 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02