特許

J-GLOBAL ID：201103039695364005

アライメント装置

発明者： 森 真起子 ,  小澤 邦貴 ,  太田 裕久 ,  鵜澤 俊一 ,  野瀬 哲志
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-290020
公開番号（公開出願番号）：特開平3-151624
特許番号：特許第2868548号
出願日： 1989年11月09日
公開日（公表日）： 1991年06月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ステップアンドリピート方式の露光装置において、基板上の各ショットごとに設けられている基板上マークと各基板上マークに対応する原版上マークとの、XY平面内の直線方向の相対ずれ量を計測するマーク計測手段と、前記基板の伸縮に伴う前記XY平面内での各ショットごとのショット歪みを検出するショット歪み検出手段と、該ショット歪み検出手段で検出される前記ショット歪みに基づいて、前記マーク計測手段から出力される前記相対ずれ量を補正する補正手段と、該補正手段の出力に基づいて前記基板と原版とを位置合わせするための補正駆動量を算出する演算手段と、を備えたことを特徴とするアライメント装置。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/30 525 D ,  H01L 21/30 525 G ,  H01L 21/30 502 M