炭酸ガスレーザ発振装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮井暎夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-230656
公開番号（公開出願番号）：特開2001-057451
特許番号：特許第3792446号
出願日： 1999年08月17日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】レーザガスの流路を構成する放電管の一部に電極を配置し、この電極に接続された高電圧電源により、レーザガスを放電励起してレーザ光を発する光共振器と、前記放電管とともにレーザガスの循環路を構成する配管経路と、前記放電管にレーザガスを循環させるための送風機とを備えた炭酸ガスレーザ発振装置であって、前記配管経路にレーザガス中に残留する油分量を測定する検出器を設け、この検出器で測定された油分量が一定の数値以上に上昇したときに、レーザガスが油分を除去するフィルタを通過するように構成したことを特微とする炭酸ガスレーザ発振装置。

IPC (1件)：