特許
J-GLOBAL ID：201103039761272869
粒子分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
県 浩介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-034679
公開番号（公開出願番号）：特開平2-213756
特許番号：特許第2705189号
出願日： 1989年02月14日
公開日（公表日）： 1990年08月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】試料に加速粒子線を照射する手段と、試料から放出される中性粒子をイオン化する手段と、上記イオン化された粒子をエネルギー分析する手段と、上記エネルギー分析されたイオンを質量分析する手段と、同手段を通過したイオンを検出する手段と、同検出手段の出力に検出粒子の質量の平方根の逆数に比例した補正係数を掛算する補正手段とを備えた粒子分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 23/225
, G01N 27/62 D
