ターボ真空ポンプ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：秋本正実
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-083921
公開番号（公開出願番号）：特開平2-264196
特許番号：特許第2585420号
出願日： 1989年04月04日
公開日（公表日）： 1990年10月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一端に吸込口が形成された円筒形のケーシングと、排気通路と排気口が形成され前記ケーシングの他端に固定された中空の渦流ポンプステータと、釣鐘状に形成され前記ケーシングと渦流ポンプステータの間に配置されたロータと、前記渦流ポンプステータの軸芯部に回転可能に支持され、その一端に前記ロータを固定したシャフトと、前記渦流ポンプステータとシャフトの間に配置され、シャフトを回転させるモータとを設け、前記ケーシングの内周面とロータの外周との間に、前記吸込口方向から複数段の軸流ポンプと複数段のねじ溝分子ポンプを形成し、前記ロータの円周面と渦流ポンプステータの外周面の間に、複数段の渦流ポンプを形成したことを特徴とするターボ真空ポンプ。

IPC (2件)：