プラズマ発生用誘電体電極材料

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出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：落合健 , 仁木一明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-302653
公開番号（公開出願番号）：特開2002-114568
特許番号：特許第3894717号
出願日： 2000年10月02日
公開日（公表日）： 2002年04月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ガスをプラズマ中で改質させるためのプラズマリアクタに装備されるプラズマ発生用電極に用いる誘電体電極材料であって、化学式ABO3 で表されるペロブスカイト系セラミックスよりなるものにおいて、 AサイトにはBaおよびCaの少なくとも一方を選択し、BサイトにはTiを選択し、放電時の絶縁破壊を起こし難くするためにMgOを5〜30vol%分散させたことを特徴とする、プラズマ発生用誘電体電極材料。

IPC (3件)：