重量センサ素子

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-097134
公開番号（公開出願番号）：特開平2-275331
出願日： 1989年04月17日
公開日（公表日）： 1990年11月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一対の非導電性板体からなり、前記一対の板体が、一定の空間をあけて互いに平行に配置され、且つ、その周辺部をシリカ、アルミナなどの無機微粒子からなるフィラーを25wt%以上60wt%以下含有してなるエポキシ樹脂系接着層で固定され、且つ、前記平行に配置された板体の互いに向い合う平面に、電極を備え静電容量を形成するとともに、前記板体の少なくとも一方が重量に応じ、弾性ダイアフラムとして動作してなる重量センサ素子。

IPC (2件)：