特許
J-GLOBAL ID：201103040200516309
粒子ビーム装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
猪股 祥晃
, 猪股 弘子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-323563
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141863
特許番号：特許第3740336号
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】イオン源と、このイオン源内のフィラメントに電流を流し加熱するためのフィラメント電源、前記フィラメントと前記イオン源の壁に電圧を印加してイオン粒子を生成させるアーク電源、前記イオン源の壁と第1の電極に電圧を印加するバイアス電源及び前記第1の電極の下方に配置した第2の電極に電圧を印加する引出電源を備えた粒子ビーム装置において、前記アーク電源と前記引出電源が共にONとなった時刻から一定時間の間、前記バイアス電源の出力基準値に一定値を加算する加算回路を設けてなることを特徴とする粒子ビーム装置。
IPC (4件)：
G21B 1/11 ( 200 6.01)
, G21B 1/25 ( 200 6.01)
, H05H 1/22 ( 200 6.01)
, H05H 7/00 ( 200 6.01)
G21B 1/00 Q
, H05H 1/22
, H05H 7/00
