特許

J-GLOBAL ID：201103040216865907

マイグレーション測定方法および測定装置

発明者： 田中 浩和 ,  吉原 佐知雄 ,  白樫 高史 ,  植田 文崇 ,  中村 誠 ,  山下 美香
出願人/特許権者： エスペック株式会社
代理人 (2件)： 曽々木 太郎 ,  小島 誠
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-095913
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296166
特許番号：特許第3723880号
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 水晶振動子を用いたマイクロバランス法によるマイグレーション測定方法であって、 表面電極および該表面電極に対応させた裏面電極が形成された振動生成体に測定環境模擬部材を載置する手順と、 前記測定環境模擬部材にイオン交換蒸留水を滴下する手順と、 前記測定環境模擬部材に対極を当接する手順と、 前記表面電極および裏面電極ならびに前記対極が所定の極性となるように通電するとともに、前記振動生成体を振動させる手順と、 前記振動生成体の振動数の変化より前記測定環境模擬部材の質量変動を算出する手順と、 前記質量変動に基づいてマイグレーションの評価をなす手順とを含み、 前記表面電極が、前記振動生成体の中心部に配設された中心電極を有し、 前記裏面電極が、前記振動生成体の中心部に配設された中心電極を有し、 前記表面電極の中心電極は前記振動生成体のほぼ半分の大きさとされ、前記裏面電極の中心電極は前記表面電極の半分程度の大きさとされていることを特徴とするマイグレーション測定方法。

IPC (3件)：

G01N 5/02 ,  G01R 31/02 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 5/02 A ,  G01R 31/02 ,  H01L 21/66 H