特許
J-GLOBAL ID：201103040332990832

モジュール式気体分配部組立体

発明者：
ダニエル ブテイユ

ダニエル ブテイユ について


出願人/特許権者：
パルケール アニファン フランス ソシエテ パール アクシオン シンプリフィエ

パルケール アニファン フランス ソシエテ パール アクシオン シンプリフィエ について


代理人 (5件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  三橋 真二 ,  西山 雅也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-136885
公開番号（公開出願番号）：特開2000-035007
特許番号：特許第4463897号
出願日： 1999年05月18日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数のモジュールを具備するモジュール式気体分配部組立体であって、前記モジュールのそれぞれは、基部に固定された気体分配部によって形成され、前記基部のそれぞれは、少なくとも一つの共通圧力ダクト部分と、少なくとも一つの共通排気ダクト部分と、前記基部のうちの隣接する基部へ固定するための固定手段とを具備し、前記気体分配部のそれぞれは、三つの分配オリフィスを介して前記基部のうちの対応する基部と連通する平らな滑り分配部分と、圧力オリフィスと、前記基部のうちの対応する基部の前記共通圧力ダクト部分及び前記共通排気ダクト部分の延在方向と平行な滑り機構の軸線とを有し、前記モジュール式気体分配部組立体の前記気体分配部のうちの少なくとも二つの気体分配部は異なる容量であり、前記二つの気体分配部の一方は、前記二つの気体分配部の他方の前記三つの分配オリフィスの断面積の少なくとも二倍の断面積の前記三つの分配オリフィスを有し、前記滑り機構の前記軸線と垂直な平面における前記モジュールのそれぞれの外形断面は前記気体分配部のうちの対応する気体分配部の容量に係わらずに同一であることを特徴とするモジュール式気体分配部組立体。
IPC (3件)：
F15B 11/00 ( 200 6.01) ,  F16K 11/07 ( 200 6.01) ,  F16K 27/00 ( 200 6.01)
FI (3件)：
F15B 11/00 D ,  F16K 11/07 K ,  F16K 27/00 D
引用特許：
審査官引用 (3件)

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