特許
J-GLOBAL ID：201103040417990742
位置決め用治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
萼 経夫
, 中村 壽夫
, 宮崎 嘉夫
, 小野塚 薫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-039996
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243761
特許番号：特許第3608605号
出願日： 1999年02月18日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】第1部材に対して第2部材を位置決めするための位置決め用治具であって、第1部材を位置決め支持する第1治具と、該第1治具と相対向して、第1部材の表面から所定間隔離間した状態で位置決め配置される、挿通部を備えた第2治具と、該第2治具の挿通部に、第1部材の表面に対して当接するように相対移動可能に挿通される、第2部材を第1部材の表面に案内位置決めするための挿入部が形成された第3治具と、を備えたことを特徴とする位置決め用治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/50 F
, B23Q 3/18 Z
