特許

J-GLOBAL ID：201103040508026167

光学装置

発明者： カール-ハインツ・シュスター ,  フーベルト・ホルデラー ,  ルドルフ・フォン ビュナウ ,  クリスティアン・ヴァグナー ,  ヨヒェン・ベッカー ,  シュテファン・ザルター ,  ヴォルフガング・フメル
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
代理人 (4件)： 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-376898
公開番号（公開出願番号）：特開2001-196305
特許番号：特許第4612945号
出願日： 2000年12月12日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】スロット状の画像フィールドまたは回転非対称な照明を持つマイクロリソグラフィ投影プリンティング装置に特に関する光学装置であって、 a)光学部材と、 b)前記光学部材の表面が投影光源の放射光により回転非対称的な作用を受ける、放射光を放出する投影光源と、 c)前記光学部材に補償光を供給する補償光供給装置であって、投影光と前記補償光とで前記光学部材を加熱する結果として生じる前記光学部材の温度分布が少なくとも部分的に均一化される補償光供給装置と を含み、 前記補償光供給装置(11、14〜19、111、211、311、314〜319)は、前記光学部材(1、101、201、301)の周縁表面(13、113、213、313)を介して前記光学部材に光学的に結合される ことを特徴とする光学装置。

IPC (1件)：

H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/30 516 E ,  H01L 21/30 515 D