流体噴射装置及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-350756
公開番号（公開出願番号）：特開2000-198205
特許番号：特許第3335972号
出願日： 1999年12月09日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】犠牲層を持つ発熱駆動部を形成する段階と、前記犠牲層を持つ前記発熱駆動部の上側に薄膜を形成する段階と、前記薄膜の上側にノズル部を形成する段階と、前記犠牲層を除去する段階とを含み、前記発熱駆動部を形成する段階は、基板上に電極及び発熱体を形成する段階と、前記電極及び発熱体の上側に駆動流体障壁層を積層し前記駆動流体障壁層に駆動流体室を形成する段階と、前記駆動流体障壁層と前記電極及び発熱体の上側に保護層を形成する段階と、前記駆動流体室の内部及び前記保護層の上側に前記駆動流体障壁層と同じ高さに犠牲層を形成する段階とを含むことを特徴とする流体噴射装置の製造方法。

IPC (3件)：