特許
J-GLOBAL ID：201103040916757706
真空装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中前 富士男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-139134
特許番号：特許第3030458号
出願日： 1999年05月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 上部が開口した真空容器本体と該真空容器本体の上部に気密シール部を介して連結される蓋板とを具備する真空容器と、該真空容器内を真空状態にする真空ポンプとを具備する真空装置において、前記真空容器本体を高真空精錬で製造した金属製とすると共に該真空容器本体の内面の表面粗度を100nm以下に設定し、かつ、前記気密シール部を表面に非ガス透過性樹脂膜を施したOリングによって形成したことを特徴とする真空装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B01J 3/00 K
, H01L 21/203 M
