特許

J-GLOBAL ID：201103041364708914

多重平行源スキャニング装置

発明者： ドロボト アダム ティー. ,  ホワイト ロバート シー. ,  ワイエス ニューエル シー.
出願人/特許権者： サイエンス アプリケーションズ インターナショナル コーポレイション
代理人 (1件)： 清水 初志 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-552538
特許番号：特許第3422988号
出願日： 1999年06月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 少なくとも一つの内部光源と該光源からの光が放出される出力用開口アレイを有し、ターゲット表面に対して移動可能であるような光放出用ベース手段であって、該出力用開口アレイに対応する光スポットがターゲット表面に投射されるように該ターゲット表面に対して位置づけられた光放出用ベース手段と、隣接する光スポットが該ターゲット表面の重なり合っているトラックを横切るような大きさで振動するように、該ベース手段を振動すべく接続したモーターとを含む、ターゲット表面を走査するためのスキャニング装置。

IPC (3件)：

G02B 26/10 ,  H01L 21/027 ,  H04N 1/04

FI (3件)：

G02B 26/10 G ,  H01L 21/30 529 ,  H04N 1/04