薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタを用いた表示装置及び薄膜トランジスタの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：桂田健志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-134341
公開番号（公開出願番号）：特開2011-071476
出願日： 2010年06月11日
公開日（公表日）： 2011年04月07日
要約：

【課題】工程数の増大を引き起こさずに、遮光層で囲まれた薄膜トランジスタと同等以上の遮光能力を有する薄膜トランジスタおよびそれを用いた表示装置を提供する。【解決手段】第1のゲート電極2と、第1のゲート電極2を覆う第1のゲート絶縁層3と、第1のゲート絶縁層3の上の半導体層6と、半導体層6の上の第2のゲート絶縁層7と、第2のゲート絶縁層7の上の第2のゲート電極8と、半導体層6に電気的に接続されたドレイン電極5及びソース電極4を有する薄膜トランジスタにおいて、半導体層6がZn、Ga、In、Snのうち少なくとも1種以上を含む非晶質酸化物半導体であり、第1のゲート電極2が下方から半導体層6への光の入射を遮り、第2のゲート電極8が上方から半導体層6への光の入射を遮り、第2のゲート電極8は第1のゲート絶縁層3及び第2のゲート絶縁層7を貫通して第1のゲート電極2と電気的に接続され、少なくとも一方の側方から半導体層6に入射する光を遮る。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

第1のゲート電極と、該第1のゲート電極を覆う第1のゲート絶縁層と、該第1のゲート絶縁層の上の半導体層と、該半導体層の上の第2のゲート絶縁層と、該第2のゲート絶縁層の上の第2のゲート電極と、前記半導体層に電気的に接続されたドレイン電極及びソース電極を有する薄膜トランジスタであって、前記半導体層がZn、Ga、In、Snのうち少なくとも1種以上を含む非晶質酸化物半導体であり、前記第1のゲート電極が下方から前記半導体層への光の入射を遮り、前記第2のゲート電極が上方から前記半導体層への光の入射を遮り、前記第2のゲート電極は前記第1のゲート絶縁層及び前記第2のゲート絶縁層を貫通して前記第1のゲート電極と電気的に接続され、少なくとも一方の側方から前記半導体層に入射する光を遮ることを特徴とする薄膜トランジスタ。

IPC (5件)：

H01L 29/786 , H01L 29/49 , H01L 29/423 , H01L 21/28 , G09F 9/30

FI (9件)：

H01L29/78 619B , H01L29/78 618B , H01L29/78 617N , H01L29/78 617K , H01L29/78 618C , H01L29/78 618D , H01L29/58 G , H01L21/28 301B , G09F9/30 338

Fターム (75件)：

4M104AA03 , 4M104AA08 , 4M104AA09 , 4M104BB16 , 4M104BB36 , 4M104BB37 , 4M104CC05 , 4M104DD07 , 4M104DD34 , 4M104DD35 , 4M104DD37 , 4M104DD64 , 4M104DD65 , 4M104EE03 , 4M104EE05 , 4M104EE14 , 4M104EE16 , 4M104EE17 , 4M104FF02 , 4M104FF40 , 4M104GG09 , 4M104HH14 , 5C094AA16 , 5C094AA43 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094BA43 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094ED15 , 5C094FB14 , 5C094GB10 , 5C094JA08 , 5F110AA06 , 5F110AA07 , 5F110AA16 , 5F110AA21 , 5F110BB01 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110EE01 , 5F110EE02 , 5F110EE11 , 5F110EE22 , 5F110EE30 , 5F110EE43 , 5F110EE44 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF27 , 5F110FF28 , 5F110FF29 , 5F110FF30 , 5F110GG01 , 5F110GG06 , 5F110GG15 , 5F110GG25 , 5F110GG42 , 5F110GG43 , 5F110GG58 , 5F110HK01 , 5F110HK04 , 5F110HK07 , 5F110HK08 , 5F110HK32 , 5F110HK33 , 5F110HK42 , 5F110NN04 , 5F110NN23 , 5F110NN35 , 5F110NN44 , 5F110NN45 , 5F110NN71

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