特許

J-GLOBAL ID：201103041774024443

照射点検出装置

発明者： 八木 武人 ,  中西 勉
出願人/特許権者： 株式会社IHI
代理人 (2件)： 堀田 実 ,  奈良 繁
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-119148
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310702
特許番号：特許第4247729号
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】レーザビームを被測定面に投光する投光部と、前記被測定面における照射点で散乱した前記レーザビームの散乱光が透過するゴースト防止フィルターと、前記ゴースト防止フィルターを透過した前記散乱光を受光する受光部と、を備える照射点検出装置であって、 前記ゴースト防止フィルターは、吸収型NDフィルターの一方面に反射型NDフィルターを設けたものであり、前記反射型NDフィルターは前記受光部の側に設けられ、前記吸収型NDフィルターは前記受光部と反対側に設けられ、 前記反射型NDフィルターの光の透過率をTrとし、前記反射型NDフィルターへ入射する前記散乱光の強度をI0とし、該入射する散乱光のうち反射型NDフィルターを透過して前記受光部へ入射する散乱光の強度をIsとし、該入射する散乱光のうち反射型NDフィルターで反射される散乱光の強度をIrとすると、Is=I0×Tr、および、Ir=I0×(1-Tr)が成り立ち、 前記透過率Trは、1/102〜1/103である、ことを特徴とする照射点検出装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ( 200 6.01) ,  G02B 5/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01B 11/24 A ,  G02B 5/00 A ,  G02B 5/00 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 光学的光減衰フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-205316   出願人：富士写真光機株式会社