特許

J-GLOBAL ID：201103042041736982

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 薄田 謙二 ,  荒野 明男 ,  西川 雅人
出願人/特許権者： AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社
代理人 (2件)： 鐘尾 宏紀 ,  野口 武男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-017832
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214582
特許番号：特許第4068253号
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】アルカリ可溶性ノボラック樹脂とo-ナフトキノンジアジド化合物との部分エステル化物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物において、該部分エステル化物が1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステルと、1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸エステルとからなり、かつ該部分エステル化物に結合した前記4-スルホニル基と5-スルホニル基の重量比が5:95〜20:80であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/023 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G03F 7/023 501 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 感光性平版印刷版
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-325896   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 画像反転陰画作用フォトレジスト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-149596   出願人：ヘキスト・セラニーズ・コーポレーション