特許
J-GLOBAL ID:201103042181821408
反射防止膜、太陽電池セル、反射防止膜の製造方法、および太陽電池セルの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-270658
公開番号(公開出願番号):特開2011-119740
出願日: 2010年12月03日
公開日(公表日): 2011年06月16日
要約:
【課題】広帯域および広入射角範囲に対して低い反射率を実現することができる多層の反射防止膜を提供すること。【解決手段】光電変換素子30の受光面上に積層される複数の誘電体層(11、12)からなる反射防止膜10であって、該複数の誘電体層のうちの少なくとも1層において、長手方向の幅が該光電変換素子により電気に変換される光の最大波長以下である微細構造物(柱状体15)が、該光が入射する領域に亘って形成されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光電変換素子の受光面上に積層される複数の誘電体層からなる反射防止膜であって、
該複数の誘電体層のうちの少なくとも1層において、長手方向の幅が該光電変換素子により電気に変換される光の最大波長以下である微細構造物が、該光が入射する領域に亘って形成されていることを特徴とする反射防止膜。
IPC (1件):
FI (2件):
H01L31/04 F
, H01L31/04 E
Fターム (8件):
5F151AA02
, 5F151AA08
, 5F151DA16
, 5F151DA19
, 5F151GA04
, 5F151HA03
, 5F151HA06
, 5F151HA07
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