特許
J-GLOBAL ID：201103042192358610
屈折率分布計測方法および屈折率分布計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
藤元 亮輔
, 水本 敦也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-119558
公開番号（公開出願番号）：特開2011-247687
出願日： 2010年05月25日
公開日（公表日）： 2011年12月08日
要約：
【課題】被検物の屈折率分布を非破壊かつ短時間で高精度に計測する。【解決手段】被検物50の屈折率とは異なる屈折率を有する媒質中に被検物を配置した状態で、被検物の透過波面を2種類の波長を用いて計測し、2種類の波長で透過波面と特定の形状と屈折率分布を持つ基準被検物の透過波面も計測し、対応する波長について両者の透過波面の差分である波面収差を求め、被検物の形状成分を除去することによって被検物の屈折率分布を算出する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被検物の屈折率とは異なる屈折率を有する媒質中に前記被検物を配置し、前記被検物に参照光を入射させて該被検物の透過波面を計測する計測ステップと、前記透過波面の計測結果を用いて前記被検物の屈折率分布を算出する算出ステップとを含む屈折率分布計測方法であって、
前記計測ステップにおいて、第1の波長における第1の透過波面と、前記第1の波長とは異なる第2の波長における第2の透過波面とを計測し、
前記算出ステップにおいて、前記第1および第2の透過波面の計測結果と、前記被検物と同一形状および特定の屈折率分布を有する基準被検物が前記媒質中に配置されているときの前記第1および第2の波長に対応する各透過波面とを用いて、前記被検物の形状成分を除去することによって、前記被検物の屈折率分布を算出することを特徴とする屈折率分布計測方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M11/02 B
, G01M11/00 L
