特許
J-GLOBAL ID：201103042890244813
クリーンルーム用ウエハ搬送ロボット
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 孝治
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-068885
公開番号（公開出願番号）：特開平2-250790
出願日： 1989年03月20日
公開日（公表日）： 1990年10月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】走行体と走行体の上部に設けたロボット部とからなり、頭部でウエハを挿置したカセットを掴み、クリーンルーム内の複数箇所に配設された受渡口間を搬送する搬送ロボットにおいて、前記走行体は上面に多数の通気孔を開設するとともに搬送方向に面した側壁に複数個のスリットを鉛直線方向に開設したカバーを具備し、内部に排気装置を設けたことを特徴とするクリーンルーム用ウエハ搬送ロボット。
IPC (2件)：
B25J 19/00 H 8611-3F
, B25J 5/02 A 8611-3F
