液体噴射ヘッド、液体噴射装置、および圧電素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：布施行夫 , 大渕美千栄 , 永田美佐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-092116
公開番号（公開出願番号）：特開2011-222849
出願日： 2010年04月13日
公開日（公表日）： 2011年11月04日
要約：

【課題】環境に優しく、耐圧が高い圧電体を有する液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッドは、下部電極10と、下部電極10上に形成された圧電体30と、圧電体30上に形成された上部電極20と、を含む圧電アクチュエーターを備えた液体噴射ヘッドであって、圧電体30は、下部電極10上に形成された鉄酸マンガン酸ビスマスランタンを主成分とする第1組成の第1層32aと、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸バリウムとの固溶体を主成分とする第2組成の第2層34aと、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸バリウムカリウムとの固溶体を主成分とする第3組成の第3層36aと、を有し、第1層32aと第3層36aとの間の距離は、160nm以下である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

下部電極と、前記下部電極上に形成された圧電体と、前記圧電体上に形成された上部電極と、を含む圧電アクチュエーターを備えた液体噴射ヘッドであって、前記圧電体は、前記下部電極上に形成された鉄酸マンガン酸ビスマスランタンを主成分とする第1組成の第1層と、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸バリウムとの固溶体を主成分とする第2組成の第2層と、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸バリウムカリウムとの固溶体を主成分とする第3組成の第3層と、を有し、前記第1層と前記第3層との間の距離は、160nm以下である、液体噴射ヘッド。

IPC (6件)：

H01L 41/09 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 41/187 , H01L 41/18 , H01L 41/22

FI (5件)：

H01L41/08 J , B41J3/04 103A , H01L41/18 101J , H01L41/18 101Z , H01L41/22 Z

Fターム (4件)：

2C057AF65 , 2C057AG44 , 2C057BA04 , 2C057BA14

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