特許

J-GLOBAL ID：201103043652675160

感放射線混合物及びレリーフパターンの製造方法

発明者： ラインホルト、シュヴァルム ,  ホルスト、ビンダー
出願人/特許権者： ビーエーエスエフ アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 田代 烝治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-115255
公開番号（公開出願番号）：特開平2-018565
特許番号：特許第2664475号
出願日： 1989年05月10日
公開日（公表日）： 1990年01月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】(a)水に不溶性、アルカリ水溶液に可溶性のポリマー結合剤と、(b)水性アルカリ現像剤に対する溶解性が酸の作用により高められ、かつ少なくとも1個の、酸により分裂され得る基ならびに放射線の作用下に強酸を形成するさらに他の基を有する有機化合物とを含有する感放射線混合物であって、上記ポリマー結合剤(a)が、5乃至40モル%の、を有するモノマー単位を重合乃至縮合させて含有し、或は重合類似反応により(式中Rは5乃至9個の炭素原子を含有する)を導入して含有することを特徴とする混合物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/30 502 R