特許
J-GLOBAL ID：201103043817669381

圧電アクチュエーターおよびその製造方法、液体噴射ヘッド、液体噴射装置

発明者：
梅田 克己

梅田 克己 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-188942
公開番号（公開出願番号）：特開2011-040666
出願日： 2009年08月18日
公開日（公表日）： 2011年02月24日
要約：
【課題】液体噴射ヘッド間あるいは液体噴射ヘッド内での各々の圧電アクチュエーターの振動特性のバラツキを少なくし、噴射される液体の量が安定した液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。【解決手段】第2上電極82の第2のスパッタレートが、第1上電極81の第1のスパッタレートと比較して小さいので、第2上電極82上に形成された保護膜100の一部をスパッタによって取り除く際に、第1上電極81のみからなる上電極80と比較して、第2上電極82がスパッタされにくく、第2上電極82の膜厚のバラツキを少なくできる。したがって、圧電体70の変形に対する上電極80の阻害への影響を少なくでき、振動特性のバラツキが少ない圧電アクチュエーター310を得ることができる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板に設けられた振動板と、 前記振動板上に形成された下電極と、 前記下電極上に形成された圧電体と、 前記圧電体上に形成された第1上電極と、 前記第1上電極上に形成され、前記第1上電極の第1のスパッタレートと比較して小さい第2のスパッタレートを有する最上層を備えた第2上電極を含む上電極と、 少なくとも前記圧電体の側面および前記第2上電極上に形成され、前記第2上電極上の一部がスパッタにより取り除かれた保護膜とを備えた ことを特徴とする圧電アクチュエーター。
IPC (8件)：
H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  B05C 5/00 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (8件)：
H01L41/08 J ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  B05C5/00 101 ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z
Fターム (11件)：
2C057AF93 ,  2C057AP16 ,  2C057AP52 ,  2C057BA14 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AA17 ,  4F041AB01 ,  4F041BA02 ,  4F041BA13 ,  4F041BA34
引用特許：
審査官引用 (10件)
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