特許
J-GLOBAL ID：201103043821476725
プラズマ発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-113080
公開番号（公開出願番号）：特開平2-291700
特許番号：特許第2815393号
出願日： 1989年05月02日
公開日（公表日）： 1990年12月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】内部にプラズマを生成させるものであって真空に排気されかつガスが導入されるプラズマ生成容器と、このプラズマ生成容器の壁面部に設けられていて当該プラズマ生成容器内へマイクロ波を導入するマイクロ波導入部と、このマイクロ波導入部からのマイクロ波導入方向に沿う磁界を前記プラズマ生成容器内に発生させる第1の磁石とを備えるプラズマ発生装置において、前記プラズマ生成容器の壁面部に前記マイクロ波導入部を複数設け、かつ同壁面部に、前記第1の磁石によるプラズマ生成容器内の磁束密度分布を補正する第2の磁石を設けたことを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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