特許

J-GLOBAL ID：201103043916149535

薄膜NTCサーミスター

発明者： カーン,ジャベッド
出願人/特許権者： ヴィシャイ インターテクノロジー,インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 飯田 伸行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-574674
特許番号：特許第3837385号
出願日： 2001年03月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】薄膜負性温度係数サーミスター(10)の製造方法であって、該サーミスター(10)の標準化サイズを維持しつつ、所定の温度抵抗係数対温度曲線を与えることができるよう金属膜材料の混合物を選択する工程と;該金属酸化物の混合物(16)をアルミナ基板(12)上にスパッター堆積させ、抵抗素子(16)を形成する工程とを具備してなることを特徴とする製造方法。

IPC (2件)：

H01C 7/04 ( 200 6.01) ,  C23C 14/06 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01C 7/04 ,  C23C 14/06 N

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 薄膜サーミスタ素子および薄膜サーミスタ素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-156661   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭62-291002