弾性表面波素子

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上学
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-194887
公開番号（公開出願番号）：特開2002-009584
特許番号：特許第3952666号
出願日： 2000年06月23日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】単結晶圧電基板である第1の基板と、前記第1の基板に接合された第2の基板と、前記第1の基板の前記第2の基板との接合面と反対側の面上に形成され弾性波を励振する櫛型交差電極とを備えた弾性表面波素子において、前記第2の基板は前記第1の基板と同一材質の基板であり、前記第1の基板の前記弾性波の伝搬方向における前記第2の基板の熱膨張係数は、前記第1の基板の同方向の熱膨張係数より小さく、前記第1および第2の基板はタンタル酸リチウムであり、前記第2の基板のZ軸は前記第2の基板の接合面内に存在し、前記第1の基板の前記弾性波の伝搬方向は前記第2の基板のZ軸と平行であることを特徴とする弾性表面波素子。

IPC (2件)：