特許
J-GLOBAL ID：201103044033692456
機上測定方法及び測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
村上 智司
, 田中 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-168925
公開番号（公開出願番号）：特開2011-020233
出願日： 2009年07月17日
公開日（公表日）： 2011年02月03日
要約：
【課題】ワークの加工面形状を工作機械上で高精度に測定し得る装置等を提供する。【解決手段】基準ミラー21をテーブル2上に配設し、ワークWの加工面を測定する第1のレーザ変位計L1と基準ミラー21の基準面を測定する第2のレーザ変位計L2とを工具保持台3に配設する。測定運動付与部24によってテーブル2と工具保持台3とを正弦波軌跡で相対移動させ、この状態で測定される加工面変位データと基準面変位データとを基に、感度算出部28によって第1のレーザ変位計L1の感度を算出する。ついで、実形状データ算出部29により、算出された感度を基に、加工面変位データを補正し、補正後の加工面変位データと基準面変位データとの差分をとって、加工面の実形状データを算出する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ワークを保持するワーク保持機構を備えたテーブルと、工具を保持する工具保持機構部と、前記テーブルと工具保持機構部とを平行移動させる第1軸方向、該第1軸方向と直交し、前記テーブルと工具保持機構部と離接させる方向の第2軸方向、並びに前記第1軸及び第2軸と直交する第3軸方向に前記テーブルと工具保持機構部とを相対移動させる送り機構部とを備えた工作機械において、該工作機械により加工されたワークの加工面形状を機上で測定する方法であって、
鏡面状の基準面を備えた基準ミラーを前記テーブル上に配置し、
前記ワークの加工面の変位を測定する第1のレーザ変位計、及び前記基準ミラーの基準面の変位を測定する第2のレーザ変位計を前記工具保持機構部に配置し、
前記第1軸方向と一致する走査方向に沿って前記第2軸方向に振動する正弦波軌跡を描くように、前記テーブルと前記工具保持機構部とを相対移動させ、且つ該相対移動の間に、前記第1のレーザ変位計によって前記加工面の変位を測定するとともに、前記第2のレーザ変位計によって前記基準面の変位を測定し、
得られた加工面の変位データ及び基準面の変位データを解析して、前記第1のレーザ変位計の感度を算出した後、算出した感度を基に、前記加工面の変位データを補正し、
ついで、補正後の加工面の変位データと前記基準面の変位データとの差分をとって、前記加工面の実形状を算出するようにしたことを特徴とする機上測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23Q17/20 A
, G01B11/24 A
2F065AA02
, 2F065AA03
, 2F065AA51
, 2F065EE00
, 2F065GG04
, 2F065HH04
, 2F065LL12
, 2F065MM02
, 2F065MM06
, 2F065PP12
, 2F065QQ00
, 2F065QQ26
, 3C029BB06
, 3C029BB10
