特許
J-GLOBAL ID：201103044311105320
正弦波状強度分布光を用いる頂点位置測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
,
代理人 (2件)：
吉井 剛
, 吉井 雅栄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-370409
公開番号（公開出願番号）：特開2003-166807
特許番号：特許第3834229号
出願日： 2001年12月04日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】正弦波状に振動する正弦波強度分布を有する平行光を発生する分布光発生装置と、前記分布光発生装置からの平行光を被測定物体に照射して被測定物体の頂点からの回折光を他の光と分離する回折光検出光学系と、前記回折光検出光学系で得られる光強度を電気的な検出信号に変換する光電変換手段と、前記検出信号から前記被測定物体の頂点位置を求める位置演算手段と、を備えたことを特徴とする正弦波状強度分布光を用いる頂点位置測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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