特許
J-GLOBAL ID:201103044429881871
2軸直交案内装置、3軸直交案内装置、3軸直交・回転案内装置及びテーブル装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
世良 和信
, 和久田 純一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-272190
公開番号(公開出願番号):特開2011-112625
出願日: 2009年11月30日
公開日(公表日): 2011年06月09日
要約:
【課題】テーブルの水平移動、昇降、回転の各運動を単一の支持ユニットとして実現するのに好適な2軸直交案内装置、3軸直交案内装置、3軸直交・回転案内装置及びこれらを備えるテーブル装置を提供する。【解決手段】一対の第1移動体10a、10bと、互いに直交する2軸を想定した場合に、該2軸のうちの第1の軸方向に一対の第1移動体10a、10bをそれぞれ独立して移動自在に案内する第1案内機構と、第2移動体20と、該第2移動体20を支持し、一対の第1移動体10a、10bにおける第1の軸方向の間隔を接近または離間させる方向に変化させる相対運動を第2移動体20における2軸のうちの第2の軸方向の運動に変換し、第2移動体20を第2の軸方向に沿って移動自在に案内する第2案内機構と、を備えることを特徴とする。【選択図】図4
請求項(抜粋):
一対の第1移動体と、
互いに直交する2軸を想定した場合に、該2軸のうちの第1の軸方向に前記一対の第1移動体をそれぞれ独立して移動自在に案内する第1案内機構と、
第2移動体と、
該第2移動体を支持し、前記一対の第1移動体における前記第1の軸方向の間隔を接近または離間させる方向に変化させる相対運動を前記第2移動体における前記2軸のうちの第2の軸方向の運動に変換し、前記第2移動体を前記第2の軸方向に沿って移動自在に案内する第2案内機構と、
を備えることを特徴とする2軸直交案内装置。
IPC (5件):
G12B 5/00
, B23Q 1/44
, B23Q 1/56
, B23Q 1/48
, G02B 21/26
FI (6件):
G12B5/00 T
, B23Q1/44 C
, B23Q1/56 B
, B23Q1/48 C
, B23Q1/48 F
, G02B21/26
Fターム (15件):
2F078CA08
, 2F078CB09
, 2F078CB10
, 2F078CB12
, 2F078CC02
, 2H052AD20
, 2H052AD21
, 2H052AD22
, 3C048AA01
, 3C048BC02
, 3C048CC04
, 3C048DD06
, 3C048DD10
, 3C048DD12
, 3C048DD17
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