露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸島儀一 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-132419
公開番号（公開出願番号）：特開平2-309624
特許番号：特許第2517669号
出願日： 1989年05月24日
公開日（公表日）： 1990年12月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】原板のパターンを被露光基板に投影露光するための投影レンズと、被露光基板を前記投影レンズに対して移動する基板ステージと、前記基板ステージ上に被露光基板がプリアライメントされた状態で載置されるように被露光基板をプリアライメントするプリアライメントステージと、前記基板ステージで被露光基板を移動させながら被露光基板の複数箇所に前記投影レンズを介して原板のパターンを順次投影露光している際に前記プリアライメントステージに向けて次の被露光基板を搬送するロボットハンドを有する露光装置において、前記基板ステージを支持する本体側定盤に対して前記ロボットハンドを支持する搬送系側定盤を分離し、前記本体側定盤と前記搬送系側定盤のそれぞれを床に対して独立支持したことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/30 502 J , H01L 21/68 G , H01L 21/30 503 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭62-195143
特開昭62-195143

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