特許

J-GLOBAL ID：201103044739274215

感光性樹脂組成物

発明者： 武部 和男 ,  井上 勝治 ,  松浦 龍一
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (2件)： 中山 亨 ,  坂元 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-055275
公開番号（公開出願番号）：特開2011-221508
出願日： 2011年03月14日
公開日（公表日）： 2011年11月04日
要約：

【課題】本発明の感光性樹脂組成物によれば、基板との密着性に優れたパターンを得ることができる。【解決手段】樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、チオキサントン化合物及び溶剤を含み、光重合開始剤が、α-アミノケトン化合物、ビイミダゾール化合物及びオキシム化合物含む光重合開始剤であり、チオキサントン化合物の含有量が、α-アミノケトン化合物の含有量100質量部に対して、80質量部以上160質量部以下である感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、チオキサントン化合物及び溶剤を含み、 光重合開始剤が、α-アミノケトン化合物、ビイミダゾール化合物及びオキシム化合物含む光重合開始剤であり、 チオキサントン化合物の含有量が、α-アミノケトン化合物の含有量100質量部に対して、80質量部以上160質量部以下である感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/031 ,  G03F 7/033 ,  G02B 5/20

FI (3件)：

G03F7/031 ,  G03F7/033 ,  G02B5/20 101

Fターム (25件)：

2H048BA02 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H125AC33 ,  2H125AC36 ,  2H125AD02 ,  2H125AD06 ,  2H125AD15 ,  2H125AD24 ,  2H125AE13P ,  2H125AM66P ,  2H125AM86P ,  2H125AN34P ,  2H125AN36P ,  2H125AN39P ,  2H125AN58P ,  2H125AN59P ,  2H125BA01P ,  2H125BA02P ,  2H125BA33P ,  2H125CA22 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13