特許
J-GLOBAL ID：201103044742029116
ビーム位置モニタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-048051
公開番号（公開出願番号）：特開平2-227693
出願日： 1989年02月28日
公開日（公表日）： 1990年09月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】荷電粒子ビームの位置を、該荷電粒子ビームの走行路をとり囲んで周方向に配された複数の電極と該複数の電極を外側から共通に包囲するシールドとを備えてなり前記それぞれの電極に静電的に誘導される電荷もしくは対シールド電圧から前記荷電粒子ビームの位置を検出するビーム位置モニタにおいて、前記複数の電極とシールドとがそれぞれ共通の筒状絶縁物の内壁面と外壁面とに導電物質の被膜として形成されることを特徴とするビーム位置モニタ。
IPC (4件)：
G01T 1/29 C 9409-2G
, G21K 5/04 C
, H05H 7/00
, H05H 13/04 R
